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发明名称 MANUFACTURE APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04142033(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900264432 申请日期 1990.10.01
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 NISHIWAKI TAKESHI
分类号 H01L21/316;H01L21/66 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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