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发明名称
TARGET FOR MAGNETRON SPUTTERING
摘要
申请公布号
JPH04141581(A)
申请公布日期
1992.05.15
申请号
JP19900262460
申请日期
1990.09.29
申请人
SUMITOMO LIGHT METAL IND LTD;SUMITOMO METAL MINING CO LTD;SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
NAOE MASAHISA;AITAKE TAKAO;YAMAGISHI KOICHI;KAWAMOTO ATSUSHI
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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