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发明名称 MULTICOORDINATE STAGE
摘要
申请公布号 SU1737557(A1) 申请公布日期 1992.05.30
申请号 SU19904779397 申请日期 1990.01.08
申请人 KAUNASSKIJ POLT I IM.A.SNECHKUSA 发明人 AKYALIS MINDAUGAS E,SU;RAGULSKIS KAZIMERAS M,SU
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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