| 摘要 |
본 발명은 캐리어 기판(2), 상기 캐리어 기판(2)에 형성되고 적어도 하나의 개구부(4)를 가지는 캐비티(3) 및 상기 캐비티(3)의 개구부(4)에 걸쳐지고, 음향 에너지를 발생 또는 감지하기 위하여 상기 캐리어 기판(2)에 대해 진동할 수 있도록, 그의 가장자리 부분이 상기 캐리어 기판(2)에 연결되는 다층 압전의 막 구조물(5)을 포함하여 구성되고, 상기 막 구조물(5)이 단면에서 적어도 몇 개의 영역에서 서로 이격 배치되는 제1 압전층(8) 및 제2 압전층(9)을 구비하며, 상기 두 개의 압전층(8, 9) 사이의 영역에 배치되고 음향 에너지가 자신에 의하여 상기 막 구조물(5)의 적어도 하나의 공기 인접 인터페이스(17, 18) 방향으로 반사될 수 있도록 형성되는 중간층(19)을 구비하여, 가청 파장 스펙트럼 내의 음파를 발생 또는 감지하기 위한 멤스 음향 변환기 및 이를 구비한 칩에 관한 것이다. |
