| 发明名称 |
POSITION CONTROL EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR CHIP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR920005834(Y1) |
申请公布日期 |
1992.08.22 |
| 申请号 |
KR19900002871U |
申请日期 |
1990.03.13 |
| 申请人 |
SAMSUNG AEROSPACE IND. CO., LTD. |
发明人 |
OH, SOK - JU |
| 分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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