| 发明名称 |
GAS CURTAIN SYSTEM PURGING DEVICE IN DUST GUARDING HOOD FOR OPTICAL EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04248530(A) |
申请公布日期 |
1992.09.04 |
| 申请号 |
JP19910033460 |
申请日期 |
1991.02.04 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
KATO KEIJI;NAKANO MASAAKI;MARUYAMA KOICHI;SUGAWARA MASAHIRO |
| 分类号 |
G03B11/00;G03B11/04;G03F7/20 |
主分类号 |
G03B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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