| 发明名称 |
EVALUATION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT MANUFACTURING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04252045(A) |
申请公布日期 |
1992.09.08 |
| 申请号 |
JP19910008178 |
申请日期 |
1991.01.28 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TERAOKA ARITONO;AOKI HIDEMITSU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N1/22;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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