| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR THIN-FILM SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04267324(A) |
申请公布日期 |
1992.09.22 |
| 申请号 |
JP19910048965 |
申请日期 |
1991.02.21 |
| 申请人 |
ALPS ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MUROTA JUNICHI;ONO SHOICHI;MIKOSHIBA NOBUO;KATO MANABU;IWASAKI CHISATO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/205;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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