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发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04268064(A) 申请公布日期 1992.09.24
申请号 JP19910048648 申请日期 1991.02.22
申请人 CANON INC 发明人 SUZUKI TOSHIO
分类号 C23C14/02 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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