发明名称 |
ZEISEIENBANTAINOETSUJIBUNIOKERUKYODOOSHIKENSURUHOHOTOSOCHI |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04287921(A) |
申请公布日期 |
1992.10.13 |
申请号 |
JP19910000356 |
申请日期 |
1991.01.08 |
申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
YASUNAGA NOBUO;ISHIDA TSUGIO;UDAGAWA KENJI;NISHIKAWA TAKESHI |
分类号 |
H01L21/66;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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