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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04286335(A)
申请公布日期
1992.10.12
申请号
JP19910051259
申请日期
1991.03.15
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
TAKENAKA SATOSHI
分类号
H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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