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经营范围
发明名称
SECTIONAL OBSERVATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04333229(A)
申请公布日期
1992.11.20
申请号
JP19910102453
申请日期
1991.05.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
HATTORI TADATETSU
分类号
G01B15/02;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
G01B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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