发明名称
摘要
申请公布号 JPH0474856(B2) 申请公布日期 1992.11.27
申请号 JP19860104686 申请日期 1986.05.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址