| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04343232(A) |
申请公布日期 |
1992.11.30 |
| 申请号 |
JP19910115126 |
申请日期 |
1991.05.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKU YUUKI;KURAGAKI TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/338;H01L23/12;H01L23/522;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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