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发明名称
PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04343226(A)
申请公布日期
1992.11.30
申请号
JP19910114733
申请日期
1991.05.20
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
KINOSHITA HIROYUKI
分类号
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/306
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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