| 发明名称 |
DEVICE FOR INTRODUCING REAGENTS INTO AN ORGANOMETALLIC VAPOUR PHASE DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2069694(A1) |
申请公布日期 |
1992.12.05 |
| 申请号 |
CA19922069694 |
申请日期 |
1992.05.27 |
| 申请人 |
CSELT - CENTRO STUDI E LABORATORI TELECOMUNICAZIONI S.P.A. |
发明人 |
BERTONE, DANIELE |
| 分类号 |
C23C16/455;C30B25/14;(IPC1-7):C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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