| 发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING THE ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5179333(A) |
申请公布日期 |
1993.01.12 |
| 申请号 |
US19900614153 |
申请日期 |
1990.11.16 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
WASHIZUKA, SHOICHI;OHTA, TAKAO |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/28;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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