| 主权项 |
1.一种电子放电管,具有一个真空包线,一个阴极,其指引一个电子束一般地沿着一个光束轴向一个目标表面;其改进包括:一个预聚焦透镜,位于邻近阴极;并且具有连续第一和第二电极,其接收个别地第一和第二电压;第二电压値大于12仟伏;并且一个高压艾因吉尔聚焦透镜,位于接收从预聚焦透镜来的电子束,并且聚焦电子束向回标表面;艾因吉尔聚焦透镜包括第一和第二外面透镜元件,其接收一个普通高压电位,并且安置在它们之间,一个中心透镜元件接收一个较低电压聚焦电位;第一和第二外面透镜元件具有相反地间口端面。2.如申请专利范围第1项之电子放电管,所述之高压电位利用艾因吉尔聚焦透镜的第一和第二外面透镜元件接收,是实质地相同于利用预聚焦透镜的第二电极接收的第二电位。3.如申请专利范围第1项之电子放电管,所述之艾因吉尔聚焦透镜的第一外面透镜元件包括一个平端圆板,其具有一个孔轴向地对准于光束轴;端圆板位于邻近第一预聚焦透镜的第一电极,并且当成预聚焦透镜的第二电极之功能。4.如申请专利范围第3项之电子放电管,所述之艾因吉尔聚焦透镜的第一外面透镜元件具有一个外面直径;此管进一步包括一个环状的环,其径向地重叠此平端圆板,并且具有一个内面直径,其大于第一外面透镜元件的外面直径。5.如申请专利范围第4项之电子放电管,所述之管状管接收实质地数値的电位,其相等于艾因吉尔聚焦透镜的中心透镜元件所接收聚焦电位。6.如申请专利范围第1顶之电子放电管,所述之加在外面透镜元件的高压电位,具有12仟伏和24仟伏间的数値。7.如申请专利范围第1项之电子放电管,所述之艾因吉尔聚焦透镜,包括一个3-元件艾因吉两透镜。8.如申请专利范围第1项之电子放电管,进一步包括一个粒子陷阱位于艾因吉尔聚焦透镜和目标表面间;粒子陷阱延伸实质地完全地经真空包线的内部。9.如申请专利范围第1项之电子放电管,进一步包括一个电磁偏转轭,位于真空包线外面,以偏转电子束利用艾因吉尔聚焦透镜聚焦向目标表面;一个电子地电阻性电镀,在真空包线的内部表面,对准于电磁偏转轭;一个电子地导体电镀的补片在电子坡电阻性电镀;艾因吉尔聚焦透镜的第二外面透镜元件,位于中心透镜元件和目标表面间;并且包括一个弹性指接触于补片;因此电子地连接第二外面透镜元件,和电子地电阻性电镀。10.如申请专利范围第1项之电子放电管,进一步包括至少2个电子地绝缘棒,在它们间支撑,并且沿着它们长度预聚焦透镜,和艾因吉尔聚焦透镜;每一棒具有一个第一长度段,对准于艾因吉尔聚焦透镜的中心透镜元件;一个外面表面以面对面关系于真空包线的内部表面;并且在第一长度段的外面表面上一个电子地传导电镀。11.如申请专利范围第1顶之电子放电管,进一步包括至少2个电子地绝缘棒,在它们间支撑,并且沿着艾因吉尔聚焦透镜它们长度;每一棒具有一个第一长度段,对准于艾因吉尔聚焦透镜的中心透镜元件;在棒内一个凹部沿着它 |
