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发明名称 LASER INTERFEROMETER FOR MEASURING OBJECT LINEAR DISPLACEMENTS
摘要
申请公布号 RU1793204(C) 申请公布日期 1993.02.07
申请号 SU19914911410 申请日期 1991.02.15
申请人 MO STANKOINSTRUMENTALNYJ INSTITUT 发明人 MIKHALCHENKO EVGENIJ P,SU;RYUMIN ALEKSEJ V,SU;YAKOVLEV NIKOLAJ A,SU
分类号 G01B9/02;G01B11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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