| 摘要 |
진동 모드에서 작동하는 표준 원자간력 현미경(AFM)을 사용하여 수집된 데이터 내의 아티팩트를 보상하는 방법이 개시된다. 아티팩트는 실제 탐침-시료 간의 상호작용과 관련되지 않는 탐침의 휨에 의해 발생하며 방법은 측정된 휨의 DC 성분을 측정함으로써 AFM의 탐침의 열 유도 굽힘을 보상하는 단계를 포함한다. 휨의 DC 성분은 광 휨 검출 장치를 보정함으로써 그리고 평균 휨의 이동을 모니터링함으로써 확인되고, 따라서 바람직한 실시형태는 아티팩트로 인한 부작용을 최소화할 수 있다. 특히, DC 휨 프로파일을 플로팅함으로써 시료의 대응하는 온도 파일을 생성한다. |
