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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0541458(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910221081 申请日期 1991.08.06
申请人 SONY CORP 发明人 YOKOYAMA TAKESHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8244;H01L23/522;H01L27/11 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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