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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR ETCHING THE SURFACE OF SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 EP0304857(B1) 申请公布日期 1993.03.10
申请号 EP19880113678 申请日期 1988.08.23
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 SCHNEGG, ANTON, DR. DIPL.-CHEM.;PRIGGE, HELENE, DR. DIPL.-CHEM.;BREHM, GERHARD, DR. DIPL.-ING.;RURLAENDER, ROBERT;KETTERL, FRITZ, DR. DIPL.-CHE.
分类号 H01L21/308;H01L21/306 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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