发明名称 SOPPORTO PER WAFER
摘要
申请公布号 ITTO920706(A1) 申请公布日期 1993.03.13
申请号 IT1992TO00706 申请日期 1992.08.20
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 KOS ROBERT D.
分类号 B65D85/00;B65D85/86;B65G49/07;H01L;H01L21/673 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
主权项
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