| 主权项 |
1﹒一种具薄多层膜之玻璃衬底,其包括以铬及镍为主,或以组为主之功能膜(3),其特征为该功能膜(3)淀积于以氧化钛,氧化锡或氧化组为主之膜(2),且在该功能膜(3)上淀积属于氧化钛,氮化钛及氧化钽之群之金属化合物膜(4);其中该功能膜(3)之厚度少于100nm;该氧化物膜(2)之厚度由10至220nm;而置于功能膜(3)上之金属化合物膜(4)厚度由5至100nm。2﹒如申请专利范围第1项上衬底,其中该功能膜(3)当其以铬及镍用主时,系经氮化3﹒如申请专利范围第1或2项之衬底,其中该功能膜(3)以质量比为55/45之镍一铬为主。4﹒如申请专利范围第1或2项之衬底,其中该功能膜(3)亦含铁,且属于不锈钢族。5﹒如申请专利范围第1或2项之衬底,其中在厚6mm之澄清浮式玻璃衬底(1)中,个别淀积100mm厚之氧化钽膜(2),接着为质量比55/45之氧化NiCr膜(3),然后为10nm厚之氧化钛膜(4),且以氮化NiCr为主之膜(3)的厚度经调整而使其此三膜之衬底之透光度Tl为约19%。6﹒如申请专利范围第1或2项之衬底,其中该功能膜(3)为钽,其淀积于以氧化钽为主之膜(2)上,并覆以亦以氧化钽为主之膜(4)。7﹒如申请专利范围第6项之衬底,其中该氧化钽第一膜(3)具约100nm之厚度,最后之氧化钽膜(4)厚度约14﹒3nm,且以钽为主之膜(3)之厚度可使其此三膜之衬底透光度Tl为约11%。8﹒如申请专利范围第1或2项之衬底,其中在6mm厚澄清浮式玻璃衬底(1)上,个别淀积约15nm厚之TiO2膜(2),接着为质量比55/45之氮化镍-铬膜(3),接着为约10nm厚之氧化钛膜(4),而氮化NiCi膜(3)之厚度适于使其此三膜之衬底的透光度为约21%。9﹒如申请专利范围第1或2项之衬底,其中在6mm厚之澄清浮式玻璃衬底(1)上,个别淀积约85nm厚之氧化锡膜(2),接着为质量比55/45之氮化NiCr膜(3),接着为约10nm厚之氧化钛膜(4),而氮化NiCr膜(3)之厚度适于使具此三膜之衬底的透光度Tl为约19%。10﹒如申请专利范围第1或2项之衬底,其中为非纯粹金属之膜系借助磁场而于真空下由反应性阴极溅射产制,金属氧化物则于存有氧,经氮化之功能膜及/或氮化物之功能膜则于存有氮时产制。11﹒如申请专利范围第1项之衬底,其系用于在建筑或造船或汽车工业中所用之防护阳光照射用之窗玻璃。图示简单说明图1:经由本发明具薄膜之玻璃衬底之简化切面。 |
