荫罩之抗起泡现象材料之蒸镀方法

摘要

本发明之目的在提供一种蒸镀方法，工程既简单，且依此方法可获得对起泡现象具有优超之抑制效果的荫罩。本发明之方法系在真空度 5×10-5 托之环境下，以2500～2600℃之温度、12～20秒之时间将硼蒸镀于荫罩表面，俟蒸镀之硼层达1μm厚度后，注入氮气，将真空度调于10-4托并加以维持，再度以硼蒸镀12～20秒，俟前述荫罩表面皮覆总厚度2μm以内之氮化硼层后，再度将真空度调于5×10-5托，一边加以维持、一边以2400～2600℃之蒸镀温度、25～30秒之蒸镀时间在前述氮化硼层上被覆1～ 2 μm厚度之钛。依上述方法，该具有低热膨胀系数之氮化硼层可抑制荫罩之起泡变形，而该具有高导电性之钛层则可于荫罩表面施予阴极电压。

主权项

1﹒一种荫罩之抗起泡现象材料之蒸镀方法,其特征在于:在真空度5x10─5托之环境下,使用硼作为蒸镀材料,以2500-2600℃之蒸镀温度、12-20秒之蒸镀时间于荫罩表面蒸镀,俟蒸镀之硼层达lm厚度后,注入氮气,将真空度调于10─4托并加以维持,再度以硼蒸镀12-20秒,俟前述荫罩表面被覆总厚度2m左右之氮化硼层,再度将真空度调于5x10─5托,一边加以维持、一边以2400-2600℃之蒸镀温度、25-30秒之蒸镀时间在前述氮化硼层上被覆1-2m厚度之钛。2﹒如申请专利范围第1项之荫罩之抗起泡现象材料之蒸镀方法,其特征在于:氮化硼层及钛层之被覆系限于由荫罩朝向屏幕之反对方。3﹒如申请专利范围第1项之荫罩之抗起泡现象材料之蒸镀方法,其特征在于氮化硼层至少被覆于荫罩之内表面。