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发明名称 BURN-IN SYSTEM
摘要
申请公布号 KR930002593(B1) 申请公布日期 1993.04.03
申请号 KR19890014445 申请日期 1989.10.07
申请人 FUJITA MFG. CO., LTD. 发明人 FUJITA, HARUHIRO;KOBAYASHI, MITSURO;MORITANI, MATAKATSU
分类号 H01L21/04;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/04 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
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