| 发明名称 | 用于材料结晶的混合坩埚 | ||
| 摘要 | 本发明涉及包括框架和底板的混合坩埚。所述坩埚的特征为：选择用于两个部件的热导率被优化的材料。所述坩埚适于制造结晶材料。此外，还公开了制造结晶材料的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106133207A | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201580012185.0 | 申请日期 | 2015.03.06 |
| 申请人 | ALD 真空技术股份有限公司 | 发明人 | 亨利克·弗朗茨;克里斯多夫·莫舍;安德里亚·兹梅尔曼;阿米·文歌特;凯·穆勒;迈克尔·霍曼 |
| 分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人 | 王蕊;李轶 |
| 主权项 | 用于材料结晶的混合坩埚，其包括底板和框架，其特征在于，所述底板和所述框架由不同材料制成，所述底板的热导率大于所述框架的热导率，且所述框架设置在所述底板上。 | ||
| 地址 | 德国哈瑙 | ||