生长管状晶体的控制设备

摘要

一种控制管状晶体生长设备的操作用的控制系统包括一测定晶体重量用的重量传感器、一测量晶体长度用的长度传感器、一测定晶体内部压力用的压力传感器和一耦合到该重量、长度、压力传感器以控制晶体生产设备操作的控制器，控制器耦合到设备的模具加热器上以根据重量、长度和压力传感器的输出控制盛在坩埚中的熔体的温度。为确保晶体壁厚大体均匀，必须精确测定晶体的重量。本发明对管状晶体内部压力波动所引起的重量测定误差进行了补偿。

主权项

1.一种控制管状晶体(22)生长装置的操作用的设备(20)，该装置包括：盛熔体用的坩埚(24)、加热坩埚(24)用的加热器(26)、从该熔体生长管状晶体用的生长装置，该生长装置包括用以支承其上生长晶体的籽晶(39)的籽晶夹持器(36)、和用以将管状晶体(22)、籽晶(39)和籽晶夹持器(36)拉离坩埚(24)的提拉装置(35)，该籽晶夹持器(36)构造得实际上靠空气将管状晶体的上端封闭；其特征在于，该设备包括：一长度传感器，用以产生表示生长中的管状晶体的长度的输出信号；一重量传感器(100)，用以产生表示生长中的管状晶体(22)、籽晶(39)和籽晶夹持器(36)重量的输出信号；一压力传感器(102)，产生一个表示生长中的管状晶体(22)里面的压力的输出信号；一控制器，适合于接收来自长度传感器(101)、重量传感器(100)和压力传感器(102)的信号；所说控制器包括适于将上述三个输出信号结合起来的计算装置，以便产生一个反映管状晶体(22)实际重量的，并也反映生长中的管状晶体里面压力的合成控制信号；所说控制器还连接到加热器(26)和/或提拉装置(35)，应用所说合成控制信号以控制该管状晶体生长装置的操作，以便确保该生长中的管状晶体的壁厚实质上是均匀的。