发明名称 METHOD FOR MEASURING FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 EP0339985(B1) 申请公布日期 1993.06.16
申请号 EP19890304179 申请日期 1989.04.26
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TOKUMARU, MAKOTO ITAMI SEISAKUSHO MITSUBISHI DENK;NAGAO, TOSHISHIGE ITAMI SEISAKUSHO;ARIKI, MASAYUKI ITAMI SEISAKUSHO MITSUBISHI DENKI;NAKANO, HIDEKI ITAMI SEISAKUSHO MITSUBISHI DENKI
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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