Pressure transducer having a diaphragm of semi-conductive material.

摘要

Ein Drucksensor mit einer Membran (4) aus Halbleitermaterial weist ein korrosionssicheres Gehäuse aus einem festen Träger (5) und einer aus einem Druckmittlermedium (9), einer Schutzschicht (10) und einer Haftmittlerschicht (11) aufgebaute, mit der Membran (4) auslenkbare Abdeckung (6) auf. Das elektrisch isolierende, zähflüssige Druckmittlermedium (9) ist an die beiden Seiten der Membran (4) aufgebracht und deckt einen auf der Membran (4) angeordneten Wandler (2) und eine zum Wandler(2) führende elektrische Verbindung (8) vollständig ab. Der Drucksensor ist von der korrosionssicheren Schutzschicht (10) hermetisch dicht eingehüllt. <IMAGE>