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发明名称 Method for micro-cleaning a support and apparatus for implementing same
摘要
申请公布号 AU3356793(A) 申请公布日期 1993.07.19
申请号 AU19930033567 申请日期 1992.12.11
申请人 CHRISTIAN DIAT 发明人 CHRISTIAN DIAT
分类号 B24C3/06;B24C5/02;B24C5/04;(IPC1-7):B24C5/04 主分类号 B24C3/06
代理机构 代理人
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