发明名称 METHOD AND DEVICE FOR GRINDING PROJECTING PORTION OF DEVELOPED SINGLE CRYSTAL BAR
摘要
申请公布号 JPH05192853(A) 申请公布日期 1993.08.03
申请号 JP19920031492 申请日期 1992.01.21
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 NAKAZAWA KEIICHI
分类号 B24B5/04;B23Q17/24;B24B5/50;B24B49/12;H01L21/304 主分类号 B24B5/04
代理机构 代理人
主权项
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