发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR GRINDING PROJECTING PORTION OF DEVELOPED SINGLE CRYSTAL BAR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05192853(A) |
申请公布日期 |
1993.08.03 |
申请号 |
JP19920031492 |
申请日期 |
1992.01.21 |
申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
NAKAZAWA KEIICHI |
分类号 |
B24B5/04;B23Q17/24;B24B5/50;B24B49/12;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B5/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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