发明名称 制造具内铜导体之多层陶瓷之方法
摘要 用以热处理含有内传导金属图型之多层陶瓷物件之方法,该等图型系由多个陶瓷未焙烧片经个别涂布有含导体金属/金属氧化物材料之油墨或糊胶所构成,及其后彼此对准加以组成及层合。将层合物转换为最终陶瓷物件之热处理方法包括在促进烧除所存在有机聚合结合剂之条件下之第一加热阶段,在减除金属导体条件下实施之第二阶段,及烧结多层复合物以制成最终陶瓷物件之第三阶段。本发明之特征在于至少在烧结阶段中水份系以气态大气压之自0.5 %至约3%之量存在,及较佳者为同时在结合剂烧除阶段及烧结阶段中存在。在此等条件下经热处理之多层物件呈现改良特性之结合,包括很少或无污点连同改良之传导性及介电特性。在较佳之具体实例中,本方法可在由微处理器控制之大气压之一连续炉中无需层合物之冷却及加热之一连续方法予以实施。随意催化产生之含加热大气之水份可用以进一步减低成本及处理时间,而同时增加处理之效率及生产量。
申请公布号 TW215079 申请公布日期 1993.10.21
申请号 TW080107345 申请日期 1991.09.17
申请人 BOC集团公司 发明人 马克.杰.柯恩克纳;塞帝契.斯.坦汉卡
分类号 C04B35/76;C04B38/06 主分类号 C04B35/76
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1﹒热处理由多个陶瓷片制成之多层陶瓷物件之方 法,该等陶瓷片包含可挥发 之有机结合剂及具有由一种图理所界定之内部导 体成份,该图型系由含有 至少为其一部份之导体金属氧化物之印刷组合物 制成,该方法包括:a加 热该物件之完全移除该有机结合剂;b再加热该步 骤a之物件以还原导体 金属氧化物;及c最后加热该步骤b之物件以烧结该 陶瓷及制成多层物件 ;d该改良在于其中至少步骤c之加热空气包含0﹒5% 至3﹒0%之水 之量之水份;及e其中经焙烧之陶瓷物件呈现改进 之传导性及介电特性之 结合,无碳质之含入及无因金属含入之污点;其中 导体成份包含铜及导体 金属氧化物包含铜氧化物。 2﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中该水份系 存在于步骤a及c。 3﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中该水份系 存在于步骤a,b及c。 4﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中步骤a,b及c 系连续实施而无中 间之冷却及加温步骤。 5﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中该水份系 由氢及氧之催化反应所产 生。 6﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中该有机结 合剂系自包含下列之组中 选出者:纤维素衍生物,乙烯聚合物及共聚物,及丙 烯及/或甲其丙烯酸 及/或酸酯聚合物及共聚物。 7﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中供步骤a之 加热空气为一种氧化空 气,供步骤b上加热空氧为一种还原空气及供步骤c 之加热空气为一种中 性空气。 8﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中除上所述 之水份外,步骤a之空气 含有2%至20%之组;步骤b之空气含有1%至10%之氢;及步 骤c 之空气含有主要为氮之空气。 9﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中该水份系 以1%至2%范围存在。 10﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中步骤a系 在最高可达500℃之 温度实施,步骤b系在最高寸达485℃之温度实施及 步骤c系在最高 可达920℃之温度实施。 11﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中步骤a至c 之实施可在24小时 或较少之时间内完成。 12﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中步骤a之 空气含有2%至5%之 氧。 13﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中步骤b之 空气含有1%至5%之 氢。 14﹒根据申请专利范围第1项上方法,其中该水份于 步骤c中系以2%之量 存在。 15﹒根据申请专利范围第2项之方法,其中步骤a外 该加热空气中系以少至 1%之氧实施。 16﹒根据申请专利范围第3项之方法,其中步骤a在 该加热空气中系以少至 1%之氧实施。图示简单说明: 图1为说明本发明当以连续形式实施 时包括温度与与空气参数之加热处理之曲 线图。 图2为说明本发明还原加热阶段之还 原增加率与已知之不存在水份之还原步骤 相比较之曲线图。 图3为说明类似于图2之自配置于预 行焙烧直接暴露于空气之氧化铝基材上铜 /铜氧化物糊胶之加热所得相比较之结果 之曲线图。 图4为说明供本方法实施之代表性系 统之流程图。
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