发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05335337(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920162074 申请日期 1992.05.28
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KUSUNOKI MASAMUNE;MORI KOJI;KONDO NOBUAKI
分类号 H01L21/304;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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