| 发明名称 |
GRID STRUCTURE OF FOCUSED ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0644940(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19920099146 |
申请日期 |
1992.04.20 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIEEMUZU PIITAA REBUIN;ARUFURETSUDO WAGUNAA |
| 分类号 |
H01J37/04;B23K15/00;B23K15/10;H01J37/09;H01J37/30;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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