发明名称 |
THERMAL TREATMENT FILM FORMATION DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0653141(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
申请号 |
JP19920203842 |
申请日期 |
1992.07.30 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NUNOTANI NOBUHITO;TAKAHASHI KOICHI;MIYASHITA NAOTO |
分类号 |
H01L21/205;C23C16/46;C30B25/08;H01L21/00;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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