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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0653514(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920224550 申请日期 1992.08.03
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MATSUMOTO SATOSHI;YOSHINO HIDEO;IZUMI KATSUTOSHI;OONO AKIKAZU
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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