发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 RU1702825(C) 申请公布日期 1994.02.28
申请号 SU19894756865 申请日期 1989.11.09
申请人 VORONEZHSKIJ ZAVOD POLUPROVODNIKOVYKH PRIBOROV;VORONEZHSKIJ POLITEKHNICHESKIJ INSTITUT 发明人 KOLYCHEV A.I.;GLUSHCHENKO V.N.;ZENIN V.V.
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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