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经营范围
发明名称
PROCESS OF MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
RU1702825(C)
申请公布日期
1994.02.28
申请号
SU19894756865
申请日期
1989.11.09
申请人
VORONEZHSKIJ ZAVOD POLUPROVODNIKOVYKH PRIBOROV;VORONEZHSKIJ POLITEKHNICHESKIJ INSTITUT
发明人
KOLYCHEV A.I.;GLUSHCHENKO V.N.;ZENIN V.V.
分类号
H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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