发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06188264(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920336867 申请日期 1992.12.17
申请人 NEC CORP 发明人 KODAMA NORIYUKI
分类号 H01L21/324;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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