| 发明名称 |
Method and apparatus for process control |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IL109238(D0) |
申请公布日期 |
1994.07.31 |
| 申请号 |
IL19940109238 |
申请日期 |
1994.04.06 |
| 申请人 |
NIMBUS TECHNOLOGY & ENGINEERING LIMITED |
发明人 |
|
| 分类号 |
G01N21/88;G01B11/30;G01N21/95;G03F7/30;G11B7/26;(IPC1-7):G06K |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
