| 摘要 |
1. Графитовый испаритель для вакуумной эпитаксии германия, выполненный в виде стержня с испарительной секцией под расплав полупроводникового материала, образуемый в нем в результате его нагрева электрическим током, подводимым к концам указанного стержня, характеризующийся тем, что для увеличения равномерности распределения плотности потока испаряемого расплава германия вдоль поперечного сечения указанного потока испарительная секция состоит из нескольких расположенных вдоль стержня укороченных испарительных выемок под отдельные источники паров распределенного в испарительных выемках расплава германия, одновременно участвующих в формировании упомянутого потока испаряемого расплава германия.2. Графитовый испаритель по п. 1, отличающийся тем, что стержень с испарительной секцией изготовлен из спектрально чистого графита.3. Графитовый испаритель по п. 1, отличающийся тем, что стержень с испарительной секцией оснащен средствами его линейного возвратно-поступательного движения относительно подложки.4. Графитовый испаритель по п. 1, отличающийся тем, что токоподводы стержня с испарительной секцией выполнены в виде острых концов указанного стержня, контактирующих с поверхностями подводных проводников электрического тока. |
