发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06260441(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930041617 申请日期 1993.03.03
申请人 NEC CORP 发明人 YAMADA YOSHIAKI
分类号 H01L21/203;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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