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发明名称 THERMAL TREATMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR940010151(B1) 申请公布日期 1994.10.22
申请号 KR19910009467 申请日期 1991.06.08
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 ORUKAMI, NOBUTOSHI;FUKUTOMI, YOSHITERU
分类号 H01L21/30;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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