发明名称 |
PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0710680(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
申请号 |
JP19930176232 |
申请日期 |
1993.06.23 |
申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
MURATA KOICHI;ISHIHARA TOMOYUKI |
分类号 |
C30B11/14;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/14 |
主分类号 |
C30B11/14 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|