发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0710680(A) 申请公布日期 1995.01.13
申请号 JP19930176232 申请日期 1993.06.23
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 MURATA KOICHI;ISHIHARA TOMOYUKI
分类号 C30B11/14;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/14 主分类号 C30B11/14
代理机构 代理人
主权项
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