| 主权项 |
1.一种超高纯度气体供给系统配管之熔接方法,主要系以电弧熔接实施不锈钢管与不锈钢管之熔接中,其特征为:从一方之不锈钢管之先端侧之开口,向内方放出背衬遮蔽气体,同时令电弧起动时之熔接电流値,于自电弧起动时机至一定时间之间,保持于较定常熔接电流値较低之値,而后将该熔接电流提升至定常熔接电流値者。2.如申请专利范围第1项所述之超高纯度气体供给系统配管之熔接方法,其中,令电弧起动时之熔接电流値为定常熔接电流値之20-30之値,同时将上述电弧起动时之熔接电流値在电弧起动之后保持1-3秒钟者。3.如申请专利范围第1项所述之超高纯度气体供给系统配管之熔接方法,其中,令流通于不锈钢管内之背衬遮蔽气体而将熔接部之内压保持于3-120mmHC_2CO者。4.如申请专利范围第1.2或3项所述之超高纯度气体供给系统配管之熔接方法,其中,背衬遮蔽气体为氩气。5.如申请专利范围第1.2或3项所述之超高纯度气体供给系统配管之熔接方法,其中,上述电弧熔接系以氩气为电弧气体之TIG自动熔接者。第1图系本发明之熔接方法,及测定由熔接部所发生之粒子之测定方法之说明图。第2图系第1图之A部放大详细图。第3图系第1图之B部放大详细图。第4图系本发明之自动熔接装置之熔接电流曲线图。第5图系习用者之自动熔接装置之熔接电流曲线图 |
