| 发明名称 |
Organic stripping composition |
| 摘要 |
Organic stripping composition for photoresists comprising organic polar solvents and basic amines which includes an inhibitor which forms a coordination complex with a metal.
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| 申请公布号 |
US5417877(A) |
申请公布日期 |
1995.05.23 |
| 申请号 |
US19920983257 |
申请日期 |
1992.11.30 |
| 申请人 |
ASHLAND INC. |
发明人 |
WARD, IRL E. |
| 分类号 |
C09K15/04;C09D9/00;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):C09D9/00 |
主分类号 |
C09K15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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