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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0774445(B2)	申请公布日期	1995.08.09
申请号	JP19900284094	申请日期	1990.10.22
申请人		发明人
分类号	C23C14/14;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/54;H01J37/32;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/54	主分类号	C23C14/14
代理机构		代理人
主权项
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