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发明名称 Verfahren und Anlage zum chemischen Beschichten von einander gegenüberliegenden Oberflächenbereichen eines Werkstückes.
摘要
申请公布号 DE59009618(D1) 申请公布日期 1995.10.12
申请号 DE19905009618 申请日期 1990.08.11
申请人 BALZERS AG, BALZERS, LI 发明人 THIEBAUD, FRANCIS, DR., CH-9479 OBERSCHAN, CH;ZIMMERMANN, HEINRICH, DR., CH-9470 BUCHS, CH
分类号 C23C16/50;C23C16/458;C23C16/505;C23C16/509;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/50;H01J37/32;C23C16/04;G02B1/10;C23C16/44 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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