異なる材料から基板上にフィンを形成する方法

摘要

異なる材料のフィンを形成する方法は、上面を有する第１の材料の層を含む基板を提供するステップと、基板の第２の部分を露出させながら基板の第１の部分をマスキングするステップと、第２の部分において第１の開口部をエッチングするステップと、開口部内に第１の材料の層の上面のレベルまで第２の材料の主部を形成するステップと、マスクを除去するステップと、第１の部分に第１の材料のフィンを形成し、第２の部分に第２の材料のフィンを形成するステップとを含む。少なくとも２つの異なる材料から形成されたフィンを有するフィンＦＥＴデバイスも開示される。