材料表面薄膜与基体结合力的测量方法及装置

摘要

本发明提供了一种材料表面薄膜与基体结合力的测量方法和装置。其特征是在工作台的上方有一特制的刀具，工作台可水平方向移动刀具可垂直方向移动。刀具与试样表面接触，将表面薄膜从基体上剥离下来，单位表面薄膜面积从基体上剥离下来所消耗的功就是表面薄膜与基体的结合力。刀具所施加的载何和工作台的位移可分别通过力传感器和步进电机的旋转测量出来。

主权项

1、一种材料表面薄膜与基体结合力的测量方法，其特征是：在 涂镀有表面薄膜的试样或工件表面预留一无膜区，试样或工件平 放在工作台(8)上；通过步进电机(11)调节刀架(5)和工作台(8)， 使刀具刃部沿垂直方向(Z)降至试样表面的无膜区；由步进电机 (11)驱动工作台(8)沿水平方向(X)移动，同时刀具对试样表面施 加一定预载，随着工作台(8)的移动，刀刃切入表面薄膜与基体 的结合面，在切向载荷P的作用下，使表面薄膜从基体上剥离下 来；这一载荷通过三向力传感器(4)及连接线(22)输入智能控制 器(24)，与此同时，工作台(8)沿水平方向(X)的位移也通过步进 电机(11)及连接线(23)输入智能控制器(24)；智能控制器(24)将 上述所输入的电压信号转换成数字信号，输进数据处理与控制系 统(25)，经处理后，即可得到沿水平方向(X)剥离表面薄膜所消 耗的功，或位移△L与切向载荷P的关系曲线a；水平方向(X)所消 耗的功除以被剥离的表面薄膜与基体结合面的总面积，则得到单 位表面薄膜从基体上剥离下来所消耗的功，即为表面薄膜与基体 的结合力。